手艺特点
用于衍射光波导/微透镜阵列等高保真、高效率复制,支持双面图形套准压印。

功效参数
- 压印幅面:最大幅面12英寸
- 衬底尺寸:8英寸/12英寸带Notch玻璃/硅片,兼容4英寸/6英寸硅片
- 压印模式:卷对平压印; 平对平压�。ǹ裳。�
- 上胶方法:旋涂; 点胶(可�。�
- 压印精度:压印匀称性优于±5%
- 残留层:压印结构50nm-2μm,压印残留层小于20nm;压印结构5μm-100μm,残留层厚度细密可控
- 套准压�。�6轴细密调解平台实现套准压印精度±5μm
- 固化光源:1000mW/cm2@365nm(LED面光源)
- 压印平台:支持平台加热及自动冷却功效,加热温控up 100?C±3%,支持自动冷却系统,以及支持微孔晶圆吸附功效
- 净化品级:内部情形Class10(外部情形要求:Class100)
- 情形要求:情形温度:15-25℃,湿度:≤70%

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