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Nanocrystal 大幅面纳米光刻

手艺特点

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  • Nanocrystal是专门为纳米光学结构制备而设计的无掩模光刻系统 ,设置了可一连变空频的位相关预系统 ,实现亚波长光学结构的亚纳米调控精度制备。
  • 该光刻系统接纳355nm紫外光源、大数值孔径(NA=0.9)干预光学系统、百微米像素视场规模 ,知足150nm-5μm规模微纳光学结构制备 ,设置3D导航聚焦、航行高速曝光模式 ,是大幅面亚波长结构制备的优异手段�?捎τ糜诠庾泳濉⒀苌涔庋骷⒐獬〉骺叵允尽⒐庋С饷驳妊芯亢推骷票�。

 

规格参数

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* 详细指标因工艺差别有所差别

 

应用示例

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