新装备
高端仪器装备：高精度与高可靠性
- 高通量数字光刻
- 纳米压印光刻与细密涂布
- 光场自动设计+算法
新工艺
光刻系统稳固性： 提升外貌品质
- 光刻稳固性一致性数据库
- 匹配数据处置惩罚与光刻精度数据库
新手艺
智能柔性制造：精度包管与测试标准
- AI+智能盘算：算法效率
- 光场成像加工精度
- 纳米精印制程精度的可控性
新器件
光子器件/质料：设计与工艺数据库
- AI赋能，提高微纳结构质料与器件数字设计
- 盘算光刻工艺、光学检测水平
- 建设规范SOP、 全流程定量检测，建设设计、光刻、涂布、压印工艺的数据库